SEMICONDUCTING DEVICES AND METHOD OF MAKING THEREOF,申请号EP19970954446-传众专利搜索

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发明名称	SEMICONDUCTING DEVICES AND METHOD OF MAKING THEREOF
摘要
申请公布号	EP0946783(A1)	申请公布日期	1999.10.06
申请号	EP19970954446	申请日期	1997.12.18
申请人	DEBYE INSTITUUT, UNIVERSITEIT UTRECHT	发明人	MEILING, HANS;SCHROPP, RUDOLF, EMMANUEL, ISIDORE
分类号	C23C16/24;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/336;H01L29/786;H01L31/04;(IPC1-7):C23C16/24;H01L21/00	主分类号	C23C16/24
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