发明名称 CONTAINER AND LOADER FOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0959495(A4) 申请公布日期 2008.09.10
申请号 EP19970946808 申请日期 1997.12.01
申请人 DAINICHI SHOJI K.K.;RORZE CORPORATION 发明人 OHYAMA, KOJI;NAKAYAMA, TOSHIYA;SAKIYA, FUMIO;KINPARA, MINEO;FUJII, TOSHIAKI;HORITA, OSAMU
分类号 B65G49/07;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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