| 摘要 |
Gegenstand der Erfindung ist ein Reaktor zur Abscheidung von polykristallinem Silicium, umfassend eine metallische Grundplatte, eine über die Grundplatte gestülpte und mit der Grundplatte gasdicht verschlossene kühlbare Glocke, Düsen zur Gaszufuhr und Öffnungen zur Abfuhr von Reaktionsgas, sowie Halterungen für Filamentstäbe und Zu- und Ableitungen für elektrischen Strom, wobei die Innenwände der Glocke beschichtet sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung derart durch Warm- und/oder Kaltverformung mechanisch nachbehandelt worden ist, dass bei der mechanischen Behandlung eine plastische Umformung der Beschichtung stattgefunden hat. |
