| 发明名称 | 一种背表面钝化的方法以及一种制作太阳能电池的方法 | ||
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种背表面钝化的方法以及一种制作太阳能电池的方法，应用于太阳能电池生产领域。本发明实施例的方法包括：在硅片背表面印刷铝电场；烘干背表面；在背表面的铝电场上沉积氮化硅膜；在背表面的氮化硅膜上印刷电极；烘干背表面。本发明实施例能够加强背表面钝化。 | ||
| 申请公布号 | CN103117324B | 申请公布日期 | 2016.07.06 |
| 申请号 | CN201110363814.8 | 申请日期 | 2011.11.16 |
| 申请人 | 中建材浚鑫科技股份有限公司 | 发明人 | 孙伟 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 逯长明 |
| 主权项 | 一种背表面钝化的方法，其特征在于，包括：在硅片背表面印刷铝电场；烘干背表面；在背表面的铝电场上沉积氮化硅膜；在背表面的氮化硅膜上印刷电极；烘干背表面；其中，在背表面的铝电场上沉积氮化硅膜，具体为：利用等离子体增强化学气相沉积法沉积背表面氮化硅膜，在等离子体增强化学气相沉积法中使用氨气来进行沉积，氨气流量为6升每分至9升每分；在等离子体增强化学气相沉积法中使用硅烷来进行沉积，氨气比硅烷的值为6到8，沉积时间为400秒至500秒。 | ||
| 地址 | 214443 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号 | ||