| 摘要 |
스토커 시스템 및 그 제어방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 시스템은, 기판이 적재되는 선반; 선반에 인접하게 배치되어 선반에 기판을 적재하는 스토커; 및 스토커에 연결되며, 선반의 기판 적재위치에 기판을 적재하도록 스토커를 수평방향으로 주행운동, 높이방향으로 상승운동 및 기판 적재위치에 대향되는 방향으로 회전운동하게 제어하는 제어유닛을 포함하며, 제어유닛은, 스토커의 주행운동과 상승운동 및 회전운동이 동시에 진행되고 완료되도록 제어할 수 있다. |
