Auflageplatte für plattenförmigen Körper sowie Behandlungsverfahren mit Verbrauch der Auflageplatte,申请号DE19916029172T-传众专利搜索

发明名称	Auflageplatte für plattenförmigen Körper sowie Behandlungsverfahren mit Verbrauch der Auflageplatte
摘要
申请公布号	DE69129172(T2)	申请公布日期	1998.09.03
申请号	DE19916029172T	申请日期	1991.07.19
申请人	TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO, JP;KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP	发明人	NOZAWA, TOSHIHISA, KOHOKU-KU, YOKOHAMA-SHI, JP;ARAMI, JUNICHI, HACHIOJI-SHI, TOKYO, JP;HASEGAWA, ISAHIRO, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;OKANO, HARUO, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION, MINATO-KU, TOKYO 105, JP
分类号	C23C14/50;C23C14/54;C23C16/458;C23C16/509;H01J37/34;H01L21/00;H01L21/683;(IPC1-7):C23C14/50;C23C16/44;C23C16/50;C23F4/00	主分类号	C23C14/50
代理机构		代理人
主权项
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