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发明名称 Verfahren zum Herstellen von nebeneinanderliegenden Gräben oder Löchern
摘要
申请公布号 DE59705425(D1) 申请公布日期 2002.01.03
申请号 DE19975005425 申请日期 1997.01.11
申请人 MICRONAS GMBH 发明人 IGEL, DIPL.-ING.
分类号 C25F3/12;H01L21/3063;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C25F3/12
代理机构 代理人
主权项
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