| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG UND PRÜFUNG EINES KORROSIONSBESTÄNDIGEN KANALS IN EINEM SILIZIUMBAUELEMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE60319014(D1) |
申请公布日期 |
2008.03.20 |
| 申请号 |
DE20036019014 |
申请日期 |
2003.11.17 |
| 申请人 |
SMC K.K. |
发明人 |
HARRIS, JAMES M.;PATEL, SAPNA |
| 分类号 |
H01L21/00;B81B7/00;B81C99/00;F16K99/00;H01L21/02;H01L21/44;H01L21/66;H01L23/544 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
