清洁系统和方法

摘要

在一个实施例中，本发明公开了一种用于清洁EUV载具的EUV清洁系统和方法。EUV清洁系统包括：分离的肮脏环境和洁净环境；用于双容器载具的不同部件的单独的清洁室；用于使用相同的机械手拾取和放置不同部件的夹持臂；用于将部件保持在不同位置处的夹持臂；用于外容器的水平自旋清洁和干燥；热水和热空气(70℃)清洁处理；用于通过热空气喷嘴清洁内容器以进行干燥的垂直喷嘴和格栅式兆声波喷嘴；用于使用吹扫气体除气不同部件的单独的真空净化室，例如，在高真空(例如，＜10^-6托)情况下，用于内容器的真空净化室和用于外容器的真空净化室；在真空室内部的加热器和RGA传感器；吹扫气体组装台；和吹扫气体装载和卸载台。

主权项

一种用于保持工件的机械手，其中工件包括第一部件和第二部件，其中第一部件包围第二部件，所述机械手包括：手柄，其中手柄包括两个臂，其中两个臂之间的距离能够被调节以支撑第一部件和第二部件；连接到两个臂以调节两个臂之间的距离的机构；其中每一个臂包括沿着臂的长度的凹部，其中每一个臂包括在凹部中的第一表面部分和在凹部外部的第二表面部分，其中两个表面部分被配置用于容纳具有两个不同清洁度水平的第一部件和第二部件，其中每一个臂被配置用于在第一表面部分处夹持第一部件；其中每一个臂被配置用于在第二表面部分处夹持第二部件；与第一部件或第二部件上的凹部配合的销。