发明名称 |
装备有电极的透明基片 |
摘要 |
本发明提供一种透明基片,它装备有一电极并且包括一个钼基的导电层Mob,该钼基的导电层的厚度至多为500nm,其特征在于,所述基片配备有至少一个阻挡层用于阻挡碱金属元素,该阻挡层被插入到所述基片和所述电极之间,该阻挡层基于电介质材料,该电介质材料选自至少一种下述化合物:氮化硅或者氮氧化硅,氮化铝或者氮氧化铝,氧化硅或者碳氧化硅,并且该阻挡层的厚度至少为120nm并且至多为300nm。 |
申请公布号 |
CN1327533C |
申请公布日期 |
2007.07.18 |
申请号 |
CN02805525.X |
申请日期 |
2002.01.23 |
申请人 |
法国圣戈班玻璃厂 |
发明人 |
R·菲克斯;T·海茨;V·隆多;U·布利斯克;N·杨克;M·尼安德尔 |
分类号 |
H01L31/0392(2006.01);H01L31/0336(2006.01);H01L31/0224(2006.01) |
主分类号 |
H01L31/0392(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
苏娟 |
主权项 |
1.一种透明基片,它装备有一电极并且包括一个钼基的导电层Mob,该钼基的导电层的厚度至多为500nm,其特征在于,所述基片配备有至少一个阻挡层用于阻挡碱金属元素,该阻挡层被插入到所述基片和所述电极之间,该阻挡层基于电介质材料,该电介质材料选自至少一种下述化合物:氮化硅或者氮氧化硅,氮化铝或者氮氧化铝,氧化硅或者碳氧化硅,并且该阻挡层的厚度至少为120nm并且至多为300nm。 |
地址 |
法国库伯瓦 |