一种制备微型燃料电池金属流场板的制作工艺

摘要

本发明一种制备微型燃料电池金属流场板的制作工艺属于对微型燃料电池技术的研究，尤其涉及一种微型燃料电池金属流场板的制作方法。其制作工艺是在金属片表面通过光刻技术制作掩蔽层，通过化学蚀刻或者电化学蚀刻的方法加工出微细结构，以及在金属表面制作导电耐蚀层。所用材料为金属板，包括不锈钢、钛及其合金、铝合金、或铜及其合金。能加工微孔、微沟道、微突起结构，通过多次的光刻、蚀刻工艺，制作三维微细结构的金属流场板。采用此工艺制作的流场板具有电阻小、耐蚀、耐磨、无加工变质层、无切削残余应力、一致性好。微结构的最小线宽可以达到50μm，结合大尺幅光刻蚀刻技术，可以实现低成本，大批量生产。

主权项

1.本发明涉及一种制备微型燃料电池金属流场板的制作工艺，其特征是，在金属片表面通过光刻技术制作掩蔽层，通过化学蚀刻或者电化学蚀刻的方法加工出微细结构，以及在金属表面制作导电耐蚀层，具体工艺步骤如下：1)首先将金属片下料、抛光，采用碱性溶液或有机溶剂浸泡或超声清洗，清洗后用大量水冲净，110℃-150℃烘30-60分钟；2)然后采用光刻工艺在单面或者双面制作掩蔽层，基本步骤包括：旋涂或空丝网涂布20-60微米左右耐蚀光刻胶，75℃-85℃前烘20-30分钟，采用掩模曝光方法，曝光剂量为20mJ/cm-35mJ/cm2，1％Na2CO3溶液显影30-90秒，去离子水冲洗干净后，85℃后烘10-30分钟；3)采用化学蚀刻或者电解蚀刻的方法加工出所需结构，化学蚀刻的步骤包括：采用5％-30％浓度盐酸或硫酸浸泡活化3-10分钟，采用化学溶液喷淋或静态蚀刻至所需深度，用大量清水冲净残液；4)最后去除金属片上的掩蔽层，抛光或打磨后制作导电耐蚀层。