静电致动器及其驱动方法

摘要

本发明提供一种廉价而且无损于大量生产性，具有充分发生力的静电致动器。第1和第2的定子(12)、(13)互相对置配置，第1和第2的定子之间配置有转子(11)使之在规定方向可动。这些定子上，设置在规定方向大体以同一间距顺序排列具有同一宽度的定子电极而成的电极组。在转子上配置具有比构成电极群的各定子电极的宽度大的沿上述规定方向的宽度的转子电极。对电极组的定子电极，施加不同定时的第1和第2的电压信号图形，用其一方在上述规定方向驱动上述转子时，把该一方确定为驱动信号。

主权项

1. 一种静电致动器，其特征是具备:具备在规定方向顺序排列至少3系统以上电极而成的电极组的第1定子，其中该3系统是指3个定子电极按不同定时被施加电压的系统；经由规定的空间与上述第1定子对置设置，具有单一系统的定子电极的第2定子，其中该单一系统是指1个定子电极被施加电压的系统；在上述空间配置成相对于上述规定方向能移动，具有与上述电极组对置的转子电极部和与上述定子电极对置的转子电极的转子；以及电压信号发生部件，产生交互地被施加于构成上述电极组的电极和上述定子电极上的电压信号，进行设定使得对上述电极组施加电压信号的第1期间比对上述定子电极施加电压信号的第2期间要长。