发明名称 FILM-LIKE ADHESIVE, DICING TAPE WITH FILM-LIKE ADHESIVE, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要 본 발명은 팽창의 차에 기인하는 응력을 완화하는 것이 가능한 필름형 접착제, 필름형 접착제를 갖는 다이싱 테이프, 반도체 장치의 제조 방법을 제공한다. 본 발명은 아크릴 수지, 에폭시 수지 및 도전성 입자를 포함하고, 도전성 입자는 종횡비가 5 이상인 플레이트형 입자를 포함하며, 도전성 입자 100 중량% 중의 플레이트형 입자의 함유량이 5 중량%∼100 중량%이고, 열경화 후의 150℃에 있어서의 저장 탄성률이 5 ㎫∼100 ㎫인 열경화형의 필름형 접착제에 관한 것이다.
申请公布号 KR20160107210(A) 申请公布日期 2016.09.13
申请号 KR20167020463 申请日期 2014.12.26
申请人 NITTO DENKO CORPORATION 发明人 SUGO YUKI;ONISHI KENJI
分类号 C09J7/00;C09J9/02;C09J11/04;C09J133/00;C09J163/00;H01L21/52;H01L21/677;H01L21/683 主分类号 C09J7/00
代理机构 代理人
主权项
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