| 发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCING TRICHLOROSILANE |
| 摘要 |
본 발명은 MG(metallurgical grade) 실리콘, 수소, 및 실리콘 테트라클로라이드(STC)를 반응시키는 고온 FBR 공정을 조합하는 것을 기본으로 하여 폴리실리콘 플랜트에서 트리클로로실란(TCS) 및 고온 열적 컨버터가 STC를 TCS 및 염화수소로 수소화하게 하는 TCS를 제조하기 위한 개선된 공정에 관한 것이다. |
| 申请公布号 |
KR20160096655(A) |
申请公布日期 |
2016.08.16 |
| 申请号 |
KR20167018158 |
申请日期 |
2014.12.10 |
| 申请人 |
SUMMIT PROCESS DESIGN, INC. |
发明人 |
GHANDI SUMEET DHARAMPAL;HAZELTINE BRUCE |
| 分类号 |
C01B33/107 |
主分类号 |
C01B33/107 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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