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发明名称 Positive working photoresist composition
摘要
申请公布号 EP0766139(B1) 申请公布日期 1998.03.25
申请号 EP19960115173 申请日期 1996.09.20
申请人 FUJI PHOTO FILM CO., LTD. 发明人 KAWABE, YASUMASA;TAN, SHIRO
分类号 G03F7/023;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/023 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
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