发明名称 HALBLEITERVORRICHTUNG MIT FELDPLATTENSTRUKTUREN UND GATEELEKTRODENSTRUKTUREN ZWISCHEN DEN FELDPLATTENSTRUKTUREN SOWIE HERSTELLUNGSVERFAHREN
摘要 Eine Halbleitervorrichtung weist einen Feldeffekttransistor (200) in einem Halbeitersubstrat (100) mit einer ersten Oberfläche (110) auf. Der Feldeffekttransistor (200) weist eine erste Feldplattenstruktur (2101) sowie eine zweite Feldplattenstruktur (2102) auf, die jeweils in einer ersten Richtung parallel zur ersten Oberfläche (110) verlaufen, sowie Gateelektrodenstrukturen (220), die über der ersten Oberfläche (110) angeordnet sind und in einer zweiten Richtung parallel zur ersten Oberfläche (110) verlaufen, wobei die Gateelektrodenstrukturen (220) zwischen den ersten und den zweiten Feldplattenstrukturen (2101, 2102) angeordnet sind.
申请公布号 DE102015100390(A1) 申请公布日期 2016.07.14
申请号 DE201510100390 申请日期 2015.01.13
申请人 Infineon Technologies Austria AG 发明人 Pölzl, Martin
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L27/06;H02M3/155 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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