| 发明名称 | 改进的光刻方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种从环氧型负性光刻胶制造高纵横比部件的光刻方法，该方法包括以下步骤：(i)用总能量密度为18,000至35,000mJ/cm<SUP>2</SUP>的光辐照在基材上的预烘焙的、掩蔽的环氧型负性光刻胶，(ii)在高温下后烘焙曝光的光刻胶，和(iii)将曝光的光刻胶在溶剂中显影，其中不超过15％的能量密度是由波长为400nm或更短的光贡献的。本发明还公开了一种往复式微型发动机(10)，其包括由该方法制造的气缸(14)、活塞(12)和曲轴。 | ||
| 申请公布号 | CN1906540A | 申请公布日期 | 2007.01.31 |
| 申请号 | CN200480040564.2 | 申请日期 | 2004.12.01 |
| 申请人 | 伯明翰大学 | 发明人 | 姜开春;金鹏 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 柳春琦 |
| 主权项 | 1.一种从环氧型负性光刻胶制造高纵横比部件的光刻方法，该方法包括以下步骤：(i)用总能量密度为18,000至35,000mJ/cm2的光辐照在基材上的预烘焙的、掩蔽的环氧型负性光刻胶，(ii)在高温下后烘焙曝光的光刻胶，和(iii)将曝光的光刻胶在溶剂中显影，其中不超过15％的能量密度是由波长为400nm或更短的光贡献的。 | ||
| 地址 | 英国伯明翰 | ||