发明名称 一种制备T相铁酸铋薄膜的方法
摘要 本发明公开了一种制备T相铁酸铋薄膜的方法,采用溶胶-凝胶法制备外延生长的T相铁酸铋薄膜,制得的铁酸铋薄膜没有杂相,方法简单,成本较低。而且在T相铁酸铋薄膜上用脉冲激光沉积法同时制备材料相同的中心电极和边缘电极,得到具有体光伏效应的铁酸铋薄膜器件。能够消除铁酸铋薄膜器件的光伏效应中退极化场的贡献、肖特基势垒的贡献以及畴壁的贡献,仅仅是本征的体光伏效应。
申请公布号 CN105702762A 申请公布日期 2016.06.22
申请号 CN201610040335.5 申请日期 2016.01.21
申请人 重庆科技学院 发明人 高荣礼;符春林;蔡苇;陈刚;邓小玲
分类号 H01L31/032(2006.01)I;H01L31/0445(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/032(2006.01)I
代理机构 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 代理人 王玉芝;陈英俊
主权项 一种制备T相铁酸铋薄膜的方法,其特征在于:包括以下步骤:铁前驱液的配制:将冰醋酸加入到硝酸铁中,置于70‑90℃恒温水浴锅中加热溶解,冷却到室温后转移入容量瓶中,再滴加乙二醇乙醚定容即得铁前驱液;铋前驱液的配制:将冰醋酸和乙二醇乙醚作为混合溶剂加入到硝酸铋中,经溶解后转移到容量瓶中,滴入乙二醇乙醚定容即得铋前驱液;将铁前驱液滴加到铋前驱液中,滴加后加入乙酰丙酮以调整溶胶粘度,混合均匀后经24小时即得纯铁酸铋的溶胶;将LaAlO<sub>3</sub>基片分别用酒精和丙酮在超声波中进行清洗,晾干;放置于匀胶机的吸片上;用除湿机将匀胶机周围的空气湿度降低到20%‑50%;取铁酸铋溶胶,用滴管滴在LaAlO<sub>3</sub>基片,放置5‑20秒,然后在匀胶机上匀胶;匀胶机停止之后,将LaAlO<sub>3</sub>基片取下,用吹风机从基片的背面通过热风吹干,然后放入管式炉进行烧结;管式炉中氧气的压强保持在0.01‑0.03M Pa,以每分钟2‑5°的速度将温度升高到200‑300°,保温10‑30分钟,然后以相同的升温速度升到550‑620°,保温1‑3个小时;之后自然降到室温;即制得T相铁酸铋薄膜。
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