具有快速气体切换装置的气体离化团束系统

摘要

提供了一种利用气体离化团束(GCIB)(128、128A、128A′)来照射衬底(152、252)的处理系统(100、100′、100″)。该系统(100、100′、100″)包括用以形成并通过喷嘴出口(110b)射出气体团束的喷嘴(110、1010)，以及位于该喷嘴(110、1010)上游并与该喷嘴(110、1010)邻接的停滞腔室(116、1016)。该停滞腔室(116、1016)具有入口(116a、1016a)，并且该喷嘴(110、1010)被构造为将单个气体团束引向该衬底(152、252)。离子发生器(122)被定位在出口(110b)下游并且被构造为离子化气体团束(118)以形成GCIB(128、128A、128A′)。该系统(100、100′、100″)也包括气体供应器(115、1015)，其中该气体供应器(115、1015)与该停滞腔室(116、1016)的该入口(116a、1016a)流体连，并且包括气体源(111、1011)和阀(113、1013)，其中该阀(113、1013)位于该气体源(111、1011)与该喷嘴(110、1010)之间，用以控制该气体源(111、1011)与该喷嘴(110、1010)之间的气体流动。

主权项

一种利用气体离化团束GCIB来照射衬底的处理系统，所述系统包括：第一喷嘴和停滞腔室，所述第一喷嘴用以形成并通过其出口射出气体团束，所述停滞腔室位于所述第一喷嘴上游并与所述第一喷嘴邻接并且具有入口，所述第一喷嘴被构造为将气体团束引向所述衬底；离子发生器，所述离子发生器被定位在所述出口的下游并且被构造为离子化所述气体团束以形成所述GCIB；第一气体供应器，所述第一气体供应器与所述停滞腔室的所述入口流体连通，并且包括第一气体源和第一阀，所述第一阀位于所述第一气体源与所述第一喷嘴之间，用以控制所述第一气体源与所述第一喷嘴之间的第一气体的流动；第二气体供应器，所述第二气体供应器与所述停滞腔室的所述入口流体连通，并且包括第二气体源和第二阀，所述第二阀位于所述第二气体源与所述停滞腔室之间，用以控制所述第二气体源与所述第一喷嘴之间的第二气体的流动；以及第二喷嘴，所述第二喷嘴用以形成并射出气体团束，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴彼此邻近配置以将从所述第一喷嘴和所述第二喷嘴射出的气体团束至少部分地合并成单个气体团束并且将所述单个气体团束引向所述衬底，所述第二喷嘴与所述第一气体供应器和所述第二气体供应器流体连通，以选择性地接收来自其中的所述第一气体或所述第二气体，其中所述第一阀和所述第二阀被定位以在所述第一阀和所述第二阀与所述停滞腔室的所述入口之间界定共有气体保持容积，所述共有气体保持容积小于2cm³，由此使得实现在不混合所述第一气体和所述第二气体的情况下，所述第一气体与所述第二气体之间到所述第一喷嘴的气体的快速排空和切换，并且其中所述第一阀和所述第二阀可引动以允许选择性地供应来自所述第一气体源的所述第一气体或来自所述第二气体源的所述第二气体。