发明名称 SEMICONDUCTOR PROCESSING METHOD COMPRISING THE FABRICATION OF A BARRIER LAYER
摘要
申请公布号 KR20010033186(A) 申请公布日期 2001.04.25
申请号 KR1020007006569 申请日期 2000.06.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址