发明名称 IN SITU GROWTH OF OXIDE AND SILICON LAYERS
摘要
申请公布号 KR20010033960(A) 申请公布日期 2001.04.25
申请号 KR1020007007545 申请日期 2000.07.07
申请人 发明人
分类号 C30B25/02 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
地址