| 发明名称 |
LASER CLEANING APPARATUS USING LASER SCANNING PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100498582(B1) |
申请公布日期 |
2005.06.22 |
| 申请号 |
KR20040059617 |
申请日期 |
2004.07.29 |
| 申请人 |
IMT CO., LTD. |
发明人 |
LEE, JONG MYOUNG;CHO, SUNG HO |
| 分类号 |
H01J9/38;H01L21/304;(IPC1-7):H01J9/38 |
主分类号 |
H01J9/38 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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