发明名称 | 高性能非接触支承平台 | ||
摘要 | 借助气垫感生的力来无接触地支承一固定的或行进中的物体的非接触支承平台,此平台包括:两个基本上相对的支承表面中的至少一个,各支承表面包括具有多个压力出口中至少之一和多个抽空通道中至少之一的一批基本单元中的至少一个、多个出口中的至少一个,以及多个抽空通道中的一个,各压力出口通过压力限流器与高压储器流体连通,这些压力出口提供加压空气用于生成压力感生的力,于物体和支承表面间保持一气垫,此压力限流器的特征是显示出流动性回动弹簧性能;所述多个抽空通道中的至少一个具有入口与出口,此入口在真空条件下保持一环境压力或更低的压力,用于局部排出质量流,从而获得均匀的支承与局部性质响应。 | ||
申请公布号 | CN100466159C | 申请公布日期 | 2009.03.04 |
申请号 | CN02828334.1 | 申请日期 | 2002.12.27 |
申请人 | 考夫乐科学方案有限公司 | 发明人 | 尤瓦尔·亚索;希勒尔·赖西曼;丹尼尔·莱文 |
分类号 | H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 朱德强 |
主权项 | 1.借助气垫感生的力来无接触地支承一静止的或行进中的物体的非接触支承平台,此平台包括:一个支承表面或两个基本上相对的支承表面,各支承表面包括:一个或多个基本单元,每个基本单元具有一个或多个压力出口和一个或多个抽空通道;每个所述压力出口通过压力限流器与高压储器流体连通,这些压力出口提供加压空气用于生成压力感生的力,在物体和支承表面间保持一气垫,此压力限流器特征性地显示出流动性回动弹簧行为;所述一个或多个抽空通道都具有入口与出口,此入口在真空条件下保持在环境压力或更低的压力下,用于局部排出质量流,从而获得均匀一致的支承与局部性质响应,其中此压力限流器包括有导管,导管具有入口与出口,设有安装于此导管内的相对的两组翅片,同一组的每两个翅片与此导管内壁的处于这两个翅片之间的一部分限定出一个腔,相对组的翅片与此腔相对定位,使得当流体流过上述导管时,在腔中形成基本稳定的涡流,所述涡流至少是在流动中暂时地存在,从而形成空气动力学障碍,允许在此涡流与相对的这组翅片的梢端之间有中央核流,并且以一维方式抑制此流动,这样便限制了质量流量并于此导管内保持显著的压力下降。 | ||
地址 | 以色列约克尼姆 |