MASK CLEANING APPARATUS CAPABLE OF REUSING CLEANING SOLUTION

摘要

본 발명은 세정액의 재사용이 가능한 마스크 세정 장치에 관한 것이며, 보다 구체적으로 마스크 세정 후 세정액에 포함된 불순물을 원심분리로 제거하여 세정액의 재사용이 가능하도록 구성된 마스크 세정 장치에 관한 것이다.