| 摘要 |
硬質で高融点の材料からなる緻密質堆積物をコールドスプレー法によって形成して得られる堆積物に関し、緻密で厚い堆積物を得ることが可能なコールドスプレー用粉末およびこの粉末を用いたスパッタリングターゲットの製造方法を提供する。コールドスプレー用粉末の累積粒度分布の１０％粒径（Ｄ１０）が４．０〜７．０μｍ、５０％粒径（Ｄ５０）が７．０〜１１．０μｍ、９０％粒径（Ｄ９０）が１１．０〜１６．０μｍの範囲とする。また、この粉末をコールドスプレー法により基体上に堆積させてバルク体を形成することでスパッタリングターゲットを得ることができる。 |
