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发明名称 FOCUS RING AND FABRICATING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE COMPRISING THEREOF
摘要
申请公布号 KR20070045561(A) 申请公布日期 2007.05.02
申请号 KR20050101976 申请日期 2005.10.27
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, JIN GOO
分类号 H01L21/02;H01L21/3065 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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