偏振光转换元件及其制造方法

摘要

本发明提供一种偏振光转换元件及其制造方法，在与玻璃平板的边界面上，偏振光分离膜不会剥离或产生裂纹。偏振光转换元件包括：具有偏振光分离膜(10)和反射膜(4)的第1透光性部件(2)；与第1透光性部件(2)交替贴合的第2透光性部件(3)；以及转换已透过偏振光分离膜(10)的偏振光的光路上或被反射膜(4)反射的偏振光的光路上的任一方的偏振光的1/2波长板(5)，偏振光分离膜(10)由交替层叠了具有压缩应力的SiO₂膜(12)和钛酸镧膜(11)的第1偏振光分离膜层膜(10a)、和交替层叠了具有拉伸应力的MgF₂膜(13)和钛酸镧膜(11)的第2偏振光分离膜层(10b)形成。

主权项

1.一种偏振光转换元件，其特征在于，该偏振光转换元件包括：第1透光性部件，其具有光射入面和与所述光射入面大致平行的光射出面，并且具有大致平行的第1和第2膜形成面、形成于所述第1膜形成面上的偏振光分离膜和形成于所述第2膜形成面上的反射膜，所述第1和第2膜形成面形成为与所述光射入面和光射出面构成规定的角度；多个第2透光性部件，其与所述第1透光性部件交替贴合，并且分别具有形成于分别与所述第1透光性部件的所述各个光射入面和各个光射出面相同的平面上的光射入面和光射出面；以及偏振光转换部件，其转换配置在已透过偏振光分离膜的偏振光的光路上或由所述反射膜反射的偏振光的光路上的任一方上的偏振光，所述偏振光分离膜利用第1偏振光分离膜层和第2偏振光分离膜层形成，所述第1偏振光分离膜层交替层叠了由具有压缩应力的第1低折射率材料构成的第1低折射率膜和由高折射率材料构成的高折射率膜，所述第2偏振光分离膜层交替层叠了由具有拉伸应力的第2低折射率材料构成的第2低折射率膜和所述高折射率膜。