| 发明名称 | 制程腔室上的连接装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种制程腔室上的连接装置，用于连接电源线和等离子产生源。该连接装置包括与等离子产生源连接的连接器、穿过电源线与连接器的螺栓以及与螺栓配合将电源线与连接器固定的螺母；所述螺栓与电源线和连接器螺纹配合。相较现有技术，本实用新型提供的连接装置，通过螺栓与电源线和连接器螺纹配合提高了连接装置的稳定性。 | ||
| 申请公布号 | CN201188464Y | 申请公布日期 | 2009.01.28 |
| 申请号 | CN200820057694.2 | 申请日期 | 2008.04.24 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 胡旭峰;胡凯峰;毛国胤;陈亮 |
| 分类号 | H01R4/30(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01R4/30(2006.01) |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 1.一种制程腔室上的连接装置，用于连接电源线与制程腔室内的等离子产生源，所述连接装置包括与等离子产生源连接的连接器、穿过电源线与连接器的螺栓以及与螺栓配合将电源线与连接器固定的螺母；其特征在于，所述螺栓与电源线和连接器螺纹配合。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江路18号 | ||