摘要 |
본 발명은 은 필름을 포함하지 않고 적어도 하나의 얇은 투명 전기 전도성 산화물 필름을 포함하는 얇은 필름 스택으로 유리 또는 유리 세라믹 필름의 표면 중 적어도 하나의 적어도 일부 상에 코팅된 유리 또는 유리 세라믹 필름을 포함하는 물질의 제조 방법에 관한 것이다. 상기 방법은 - 상기 스택을 침착시키는 단계로서, 여기서 상기 얇은 투명 전기 전도성 산화물 필름 및 적어도 하나의 얇은 균질화 필름을 침착시키고, 상기 얇은 균질화 필름은 금속, 금속 탄화물, 또는 알루미늄 질화물 이외의 금속 질화물로 제조된 필름인 단계; 이어서, - 상기 스택을 방사선으로 처리하는 열 처리 단계를 포함한다. |