用于各种材料和材料流的对准系统

摘要

公开了一种用于使工具与连续或不连续材料流中的工件对准的方法和系统。工件可以是材料幅的一部分。成像系统分别在第一和第二时刻捕获工件的第一和第二图像。在第一和第二图像中选择、探测、追踪和/或比较工件的微观天然特征。基于如在第一和第二图像中捕获的特征之间的对应关系、追踪或相对位移，控制与工件的对准。在实施例中，基于由对图像中相关特征或纹理的分析确定的定位信息使工件和工具、通过平版印刷或光刻设备赋予工件的投影图像或图案对准。定位信息科包括定位误差或歪曲指示。

主权项

一种使工具对准的方法，所述方法包括：利用第一成像系统在第一位置捕获运动工件的第一区域内的多个微观天然特征的第一放大图像；利用第二成像系统在第二位置捕获运动工件的同一第一区域内的所述多个微观天然特征的第二放大图像，在捕获所述第一放大图像与捕获所述第二放大图像之间经过一时间间隔；确定如在所述第一放大图像中捕获的所述工件的所述多个微观天然特征以及如在所述第二放大图像中捕获的所述工件的所述多个微观天然特征之间的对应关系；确定所述运动工件关于对应的第一位置和第二位置的定位信息，利用控制器来分析具有所述第一和第二放大图像之间的所述对应关系的微观天然特征；以及基于确定的定位信息来使所述工件与所述工具对准。