一种多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉，包括底板，坩埚，护板和盖板，坩埚放置在底板上，护板围设在坩埚的外侧，盖板位于坩埚上方，盖板和四块护板拼接成口部将坩埚盖住，其特征在于，所述护板包括护板本体和绝缘凸台，所述护板本体的高度低于所述坩埚的高度，所述绝缘凸台设置在每块所述护板本体上的数量不少于2个。本实用新型不仅能有效排杂，提升所铸硅锭品质，延长了护板的使用寿命，而且能有效解决盖板与加热器意外接触产生拉弧打火，损坏热场元件的问题。

主权项

一种多晶硅铸锭炉，包括底板，坩埚，护板和盖板，坩埚放置在底板上，护板围设在坩埚的外侧，盖板位于坩埚上方，盖板和四块护板拼接成口部将坩埚盖住，其特征在于，所述护板包括护板本体和绝缘凸台，所述护板本体的高度低于所述坩埚的高度，所述绝缘凸台设置在每块所述护板本体上的数量不少于2个。