用于为电子柱维持不同真空度的装置

摘要

公开了一种用于为电子柱维持不同真空度的装置，该装置用于将电子柱和样品保持在不同的真空度下，所述电子柱包括电子发射器、透镜部件和用于固定电子发射器、透镜部件的壳体。所述装置包括：柱壳体连接部，所述柱壳体连接部连接到壳体以隔离真空；中空部，所述中空部通过装置的中心部分限定，以允许从电子柱发出的电子束通过该中空部；以及真空隔离部，所述真空隔离部具有用于真空连接的垫圈的结构，其中，通过选择最后定位在发射电子束所沿的路径中的透镜电极层的合适的直径或利用所述中空部，将装置的两侧之间的真空度差保持为不小于10托。

主权项

1、一种为电子柱维持不同真空度的装置，该装置用于将电子柱和样品保持在不同的真空度下，所述电子柱包括电子发射器、透镜部件和用于固定所述电子发射器和所述透镜部件的壳体，所述装置包括：柱壳体连接部，所述柱壳体连接部连接到所述壳体以隔离真空；中空部，所述中空部通过所述装置的中心部分限定，以允许从所述电子柱发射的电子束通过该中空部；以及真空隔离部，所述真空隔离部具有用于真空连接的垫圈的结构，其中，通过选择最后定位在发射电子束所沿的路径中的透镜电极层的合适的直径或利用所述中空部，将所述装置的两侧之间的真空度差保持为不小于101托。