利用基板对位孔测量基板变形量之测量装置

主权项

一种利用基板对位孔测量基板变形量之测量装置，包括：一承载平台，该承载平台之顶面系供承载一基板，其中该基板邻近其四边中央之位置上分别开设有一对位孔；一透明板体，系设置在该承载平台的上方，该透明板体邻近其四边中央的位置分别设有一基准图样，该透明板体之底面能抵靠在该基板之顶面；及四部影像撷取单元，系设在该透明板体之上方，且分别对应于各该基准图样的位置，各该影像撷取单元系分别对各该基准图样及各该对位孔进行拍摄，以分别取得一测量影像。