高エネルギービームの焦点位置を決定する装置および方法

摘要

本発明は、ワークピース（３）及び／又は装置（１）の基準輪郭（５ｂ）に対する高エネルギービーム（２）のビーム方向（１３）における前記高エネルギービーム（２）、特にレーザービームの焦点位置（Ｆ，Ｆ′，Ｆ″）を決定する装置（１）に関する。この装置は、前記ワークピース（３）上に前記高エネルギービーム（２）を集光させる集光素子（４）と、前記集光素子（４）を貫通して延在する監視ビームパス（７）を用いて、前記ワークピース（３）の表面（３ａ）及び／又は前記基準輪郭（５ｂ）における監視すべき領域（１５）をキャプチャする画像キャプチャデバイス（９）であって、前記高エネルギービーム（２）に対して非同軸方向に延在する監視方向（Ｒ１）に対応付けられた少なくとも１つの監視ビーム（７ａ）を形成するように構成され、かつ、少なくとも１つの監視方向（Ｒ１）から前記基準輪郭（５ｂ）及び／又は前記監視すべき領域（１５）の少なくとも１つの画像（Ｂ１）を生成する結像光学系（１４）を含んでいる、画像キャプチャデバイス（９）と、前記高エネルギービーム（２）の前記ビーム方向（１３）における前記焦点位置（Ｆ，Ｆ′，Ｆ″）を、少なくとも１つの記録された画像（Ｂ１）の評価により決定する評価デバイス（１９）とを備えている。