发明名称 POSITIVE-WORKING PHOTOIMAGEABLE BOTTOM ANTIREFLECTIVE COATING
摘要
申请公布号 EP1738225(A2) 申请公布日期 2007.01.03
申请号 EP20050718269 申请日期 2005.03.23
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 SUI, YU;WU, HENGPENG;KANG, WEN-BING;NEISSER, MARK, O.;KATAYAMA, TOMOHIDE;DING-LEE, SHUJI, S.;HISHIDA, ARITAKA;OBERLANDER, JOSEPH, E.;TOUKHY, MEDHAT, A.
分类号 G03F7/09;G03F7/039 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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