发明名称 |
用于降低在适形区域与模具图案间之黏着力的方法 |
摘要 |
本发明提供一种用于降低一基材上的适形区域与一模件的图案间之黏着力的方法,该模件是选择性地与该适形区域接触。此方法的作用是形成一适形材料于该基材上且将该适形材料与该表面接触。一被调节层是以该适形材料所形成。该被调节层具有第一及第二次部,使该第一次部被固化,且该第二次部具有对该表面的第一亲合性,及对该第一次部的第二亲合性。第一亲合性大于第二亲合性。于此型式,于该模件自该被调节层分离时,该第二次部的次组保持与该模件接触,藉以减低对形成于该被调节层内之图案负面影响的可能性。 |
申请公布号 |
TWI358608 |
申请公布日期 |
2012.02.21 |
申请号 |
TW093117326 |
申请日期 |
2004.06.16 |
申请人 |
分子压模公司 美国;德州大学董事会 美国 |
发明人 |
崔炳镇;徐 法兰克Y;史黛西 尼可拉斯A;特鲁斯基 凡恩N;瓦特 麦可P C |
分类号 |
G03F7/00 |
主分类号 |
G03F7/00 |
代理机构 |
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代理人 |
恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼 |
主权项 |
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地址 |
美国 |