发明名称 |
使薄膜容易控制的方法和夹紧装置 |
摘要 |
装置(10)包括夹紧装置,其中包括至少一个内部件(14)和至少一个外部件(16)。使夹紧装置(10)的形状能够将膜(12)固定在至少一个内部件(14)和至少一个外部件(16)之间。可以进一步加工被固定的膜(12),获得一种经加工的膜。被固定在夹紧装置(10)中的一种经加工的膜,可以进一步进行附加的生产步骤,生产经加工的制品。本申请所述的装置(10)和方法适合生产各种制品,例如微电子器件和光电子器件。 |
申请公布号 |
CN1599520A |
申请公布日期 |
2005.03.23 |
申请号 |
CN200410054980.X |
申请日期 |
2004.07.26 |
申请人 |
通用电气公司 |
发明人 |
A·R·杜加尔;P·A·麦康奈利;M·谢普肯斯;严旻 |
分类号 |
H05B33/10;H05B33/14;H05B33/12 |
主分类号 |
H05B33/10 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
卢新华;孟凡宏 |
主权项 |
1.一种装置(10),其中包括:膜(12);和夹紧装置,其中包括至少一个内部件(14)和至少一个外部件(16),其中使所述至少一个内部件(14)和所述至少一个外部件(16)的形状能够将所述的膜(12)固定在它们之间。 |
地址 |
美国纽约州 |