发明名称 使薄膜容易控制的方法和夹紧装置
摘要 装置(10)包括夹紧装置,其中包括至少一个内部件(14)和至少一个外部件(16)。使夹紧装置(10)的形状能够将膜(12)固定在至少一个内部件(14)和至少一个外部件(16)之间。可以进一步加工被固定的膜(12),获得一种经加工的膜。被固定在夹紧装置(10)中的一种经加工的膜,可以进一步进行附加的生产步骤,生产经加工的制品。本申请所述的装置(10)和方法适合生产各种制品,例如微电子器件和光电子器件。
申请公布号 CN1599520A 申请公布日期 2005.03.23
申请号 CN200410054980.X 申请日期 2004.07.26
申请人 通用电气公司 发明人 A·R·杜加尔;P·A·麦康奈利;M·谢普肯斯;严旻
分类号 H05B33/10;H05B33/14;H05B33/12 主分类号 H05B33/10
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 卢新华;孟凡宏
主权项 1.一种装置(10),其中包括:膜(12);和夹紧装置,其中包括至少一个内部件(14)和至少一个外部件(16),其中使所述至少一个内部件(14)和所述至少一个外部件(16)的形状能够将所述的膜(12)固定在它们之间。
地址 美国纽约州