MEMS麦克风及其制造方法

摘要

本发明提供了一种MEMS麦克风。所述MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对的振膜，所述背板与所述振膜间隔设置并形成声腔，所述振膜远离所述声腔的一侧设有应力层。本发明还提供了一种MEMS麦克风的制造方法。此方法特别适用于低拉伸应力振膜，可以避免在整体结构应力平衡后而导致皱膜或者是变形屈曲，从而保证所述MEMS麦克风具有高灵敏性和高可靠性。而且该方法生产的MEMS麦克风制作工艺流程简单、工艺成本低、易于批量化生产。

主权项

一种MEMS麦克风，其特征在于，包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对的振膜，所述背板与所述振膜间隔设置并形成声腔，所述振膜远离所述声腔的一侧设有应力层。