Wet process chamber and wet process apparatus having the same

摘要

본 발명은 피처리재에 대한 습식 공정을 진행하기 위한 습식 공정 챔버에 관한 것으로서, 상기 피처리재가 통과하도록 형성된 하나 이상의 개구부를 구비하는 하우징 및 상기 개구부와 대응되도록 배치되고 상기 피처리재가 통과하도록 형성된 슬릿을 구비하는 차단부를 포함하고, 상기 차단부는 상기 개구부보다 큰 크기를 갖고, 상기 차단부의 슬릿은 상기 개구부에 비하여 작은 폭을 갖는 습식 공정 챔버 및 이를 포함하는 습식 공정 장치를 제공한다.