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发明名称 Optische Projektionsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE112006000684(T5) 申请公布日期 2008.02.07
申请号 DE200611000684T 申请日期 2006.03.24
申请人 TOHOKU UNIVERSITY, SENDAI 发明人 TOYODA, MITSUNORI;YAMAMOTO, MASAKI
分类号 G02B17/00;G02B27/18;H01L21/027 主分类号 G02B17/00
代理机构 代理人
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