| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur konfokalen Autofokussierung von optischen Geräten, bevorzugt zur Feinfokussierung von Mikroskopen, bei denen ein Beleuchtungsstrahlengang (2) auf ein Beobachtungsobjekt (7) gerichtet ist, aus dem vom Beobachtungsobjekt (7) in ein Objektiv (6) reflektierten Licht sowohl Bildinformationen von der Oberfläche des Beobachtungsobjektes (7) als auch Informationen über die Fokuslage gewonnen werden und anhand dieser Informationen mittels einer Auswerte- und Einstelleinheit eine Korrektur der Fokuslage veranlaßt wird. Bei einem Gerät der eingangs beschriebenen Art sind die Bildinformationen und die Informationen über die Fokuslage in verschiedenen, örtlich voneinander getrennt verlaufenden optischen Zweigen geführt. Dabei verläuft im Zentrum des Objektivstrahlenganges ein Lichtbündel (11) als Bildübertragungszweig und in der Peripherie des Objektivstrahlenganges ein Autofokussierungszweig mit drei optischen Kanälen (13, 14, 15), von denen ein erster ein extrafokales, ein zweiter ein intrafokales und ein dritter ein konjugiertes Signal in entsprechende Autofokussierungsbildebenen (21, 22, 23) liefert.</p> |
