中介物的制造方法

摘要

一种具备多个贯通电极的中介物的制造方法，包含：通过将激光聚光于由硅形成的板状的加工对象物，在加工对象物形成改质区域的激光聚光工序；在激光聚光工序之后，通过对加工对象物实施各向异性蚀刻处理，沿着改质区域使蚀刻选择性地进展，将相对于加工对象物的厚度方向倾斜且其剖面形状为矩形形状的多个贯通孔形成于加工对象物的蚀刻处理工序；在蚀刻处理工序之后，在贯通孔的内壁形成绝缘膜的绝缘膜形成工序；在绝缘膜形成工序之后，通过将导体埋入贯通孔，形成贯通电极的贯通电极形成工序；多个贯通孔从加工对象物的主面看，以在其倾斜方向上排列的贯通孔在倾斜方向的垂直方向上相互不同的方式配置。

主权项

一种中介物的制造方法，其特征在于，是具备多个贯通电极的中介物的制造方法，包含：通过将激光聚光于由硅形成的板状的加工对象物，从而在所述加工对象物形成改质区域的激光聚光工序；在所述激光聚光工序之后，通过对所述加工对象物实施各向异性蚀刻处理，从而沿着所述改质区域使蚀刻选择性地进展，使其剖面形状为矩形形状的多个贯通孔形成于所述加工对象物的蚀刻处理工序；在所述蚀刻处理工序之后，在所述贯通孔的内壁形成绝缘膜的绝缘膜形成工序；在所述绝缘膜形成工序之后，通过将导体埋入所述贯通孔，形成所述贯通电极的贯通电极形成工序，多个所述贯通孔以多行排列，1行中的各个所述贯通孔具有相对于相邻的贯通孔不同并且相对于所述加工对象物的厚度方向倾斜的倾斜角度，多行中的相邻的2行以一行中的所述贯通孔与另一行中的所述贯通孔相互错开的方式配置，在所述激光聚光工序中，在所述加工对象物的对应于所述贯通孔的部分形成作为所述改质区域的第1改质区域，并且在所述加工对象物在通过由所述各向异性蚀刻处理进行的薄化而除去的部分形成作为与所述第1改质区域连接的所述改质区域的第2改质区域，在所述蚀刻处理工序中，一边将所述加工对象物薄化至目标厚度，一边沿着所述第2改质区域使蚀刻选择性地进展，之后，沿着所述第1改质区域使蚀刻选择性地进展，当所述加工对象物到达所述目标厚度时，完成所述贯通孔的形成。