| 摘要 |
[과제] 도공 품질의 저하를 억제할 수 있는 도공 장치를 제공한다. [해결 수단] 본 발명의 도공 장치(10)는 도공액을 저류하는 탱크(11)와 도공액을 대상물(19)에 도공해서 도막을 형성하는 헤드(12) 사이를 연결하는 제 1 유로(13), 제 1 유로(13)에 설치되어 도공 실행 기간에 도공액을 탱크(11)로부터 헤드(12)에 공급하는 제 1 펌프(14), 제 1 유로(13) 상이고 또한 제 1 펌프(14)의 상류측 위치에 설치되어 도공액을 여과하는 필터(15), 필터(15)와 제 1 펌프(14) 사이에서 제 1 유로(13)로부터 분기되고 필터(15)의 상류측에서 제 1 유로(13)에 연결되는 제 2 유로(16), 및 제 2 유로(16)에 설치되고 도공 정지 기간에 도공액을 적어도 필터(15) 및 제 2 유로(16)를 경유해서 순환시키는 제 2 펌프(17)를 구비한다. |
