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发明名称 Polysilicon evaluating method, polysilicon inspection apparatus and method for preparation of thin film transistor
摘要
申请公布号 EP1115150(A3) 申请公布日期 2004.10.20
申请号 EP20010100258 申请日期 2001.01.03
申请人 SONY CORPORATION 发明人 WADA, HIROYUKI;HIRATA, YOSHIMI;TAGUCHI, AYUMU;TATSUKI, KOICHI;UMEZU, NOBUHIKO;KUBOTA, SHIGEO;ABE, TETSUO;OOSHIMA, AKIFUMI;HATTORI, TADASHI;TAKATOKU, MAKOTO;SUGANO, YUKIYASU
分类号 H01L21/263;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/263
代理机构 代理人
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