发明名称 |
锰锡氧化物类透明导电氧化物及利用其的多层透明导电膜以及其制备方法 |
摘要 |
本发明涉及即便在常温蒸镀时也具有低的表面粗糙度、低的面电阻及高的透射率特性的最佳组成的锰锡氧化物类透明导电氧化物(TCO)及利用其的多层透明导电膜以及其制备方法。本发明的锰锡氧化物类透明导电氧化物具有Mn<sub>x</sub>Sn<sub>1-x</sub>O(0<x≤0.055)的组成。并且,本发明的多层透明导电膜包括:锰锡氧化物类透明导电氧化物,具有Mn<sub>x</sub>Sn<sub>1-x</sub>O(0<x≤0.055)的组成;金属薄膜,层叠于上述锰锡氧化物类透明导电氧化物上;以及锰锡氧化物类透明导电氧化物,层叠于上述金属薄膜上,具有Mn<sub>x</sub>Sn<sub>1-x</sub>O(0<x≤0.055)的组成。 |
申请公布号 |
CN105845196A |
申请公布日期 |
2016.08.10 |
申请号 |
CN201610073079.X |
申请日期 |
2016.02.02 |
申请人 |
韩国科学技术研究院 |
发明人 |
崔志远;崔源国;金镇相;任咳摞 |
分类号 |
H01B1/08(2006.01)I;H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;C01G19/02(2006.01)I;C01G45/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01B1/08(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
苗堃;金世煜 |
主权项 |
一种锰锡氧化物类透明导电氧化物,其特征在于,具有Mn<sub>x</sub>Sn<sub>1‑x</sub>O的组成,其中,0<x≤0.055。 |
地址 |
韩国首尔 |