Optical measurement system using optical fiber probe including sensing function

摘要

본 발명은 광부품에 대한 광학적 특성을 측정하기 위한 광 측정 장치에 관한 것으로, 프로브용 광섬유에 광섬유 브래그 격자가 형성된 광 프로브에서의 브래그 격자 신호의 변화를 이용하여 광 프로브와 웨이퍼 사이의 간격을 보다 용이하게 일정하게 유지시킬 수 있는 광 측정 시스템에 관한 것이다.