| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Ventil, umfassend ein rohrförmiges Gehäuse mit einem Gesamtquerschnitt und zwei Anschlussenden, das eine Passage für ein erstes fluides Medium bereitstellt, sowie ein in dem rohrförmigen Gehäuse angeordnetes, mit einem zweiten fluiden Medium befüllbares Absperrorgan, welches im nicht befüllten Zustand einen Teilquerschnitt des rohrförmigen Gehäuses ausfüllt, der geringer ist als der Gesamtquerschnitt des rohrförmigen Gehäuses, so dass ein Restquerschnitt des rohrförmigen Gehäuses die Passage für das erste fluide Medium bildet, und welches im befüllten Zustand den Gesamtquerschnitt des rohrförmigen Gehäuses ausfüllt, so dass eine Passage des ersten fluiden Mediums unterbunden ist, sowie eine Vakuum-Substratbehandlungsanlage mit einer von Kammerwänden begrenzten, evakuierbaren Anlagenkammer und einem derartigen Ventil. |
