| 发明名称 | 图案缺陷检查方法及图案缺陷检查装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种图案缺陷检查方法，对具备单位图案周期性排列而成的重复图案的被检查体的、产生于所述重复图案中的缺陷进行检查，其中，具有：对所述重复图案以规定的入射角照射光而产生衍射光的工序；对来自所述重复图案的衍射光进行受光而成像的工序；通过对使所述衍射光成像后的图像进行观察，而检测产生于所述重复图案上的缺陷的工序。在对所述衍射光进行受光而成像的工序中，对来自所述重复图案的衍射光中绝对值为45级～1600级的超高级衍射光进行受光。 | ||
| 申请公布号 | CN101339360A | 申请公布日期 | 2009.01.07 |
| 申请号 | CN200810002122.9 | 申请日期 | 2008.01.15 |
| 申请人 | HOYA株式会社 | 发明人 | 山口升;石川雄大 |
| 分类号 | G03F1/00(2006.01);G01N21/956(2006.01);G01N21/88(2006.01) | 主分类号 | G03F1/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李香兰 |
| 主权项 | 1、一种图案缺陷检查方法，对具备单位图案周期性排列而成的重复图案的被检查体的、产生于所述重复图案中的缺陷进行检查，其特征在于，具有：对所述重复图案以规定的入射角照射光而产生衍射光的工序；对来自所述重复图案的衍射光进行受光而成像的工序；通过对使所述衍射光成像后的图像进行观察，而检测产生于所述重复图案上的缺陷的工序；在对所述衍射光进行受光而成像的工序中，对来自所述重复图案的衍射光中绝对值为45级～1600级的超高级衍射光进行受光。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||