一种柔性压力传感器与薄膜晶体管的集成器件及制备方法

摘要

一种柔性压力传感器与薄膜晶体管的集成器件及其制备方法，属于传感器领域。包括底层柔性衬底，位于底层柔性衬底之上的栅电极和压力传感器电极，位于栅电极之上的有源层，位于部分栅电极、部分底层柔性衬底、传感器电极之上的敏感层，位于有源层之上的绝缘层，位于绝缘层之上的源漏电极，覆盖源漏电极和敏感层的顶层封装层。本发明将压力传感器与薄膜晶体管集成在一起，压力传感器对压力的响应带来了电流值的改变，薄膜晶体管通过输出的电流值即可实现对压力的检测，该集成器件既实现了压力的检测，又能将信号进行放大输出，有效实现了传感器与电路的结合，且具有低成本、高灵敏度、低驱动电压、响应快、放大检测信号等优点。

主权项

一种柔性压力传感器与薄膜晶体管的集成器件，包括底层柔性衬底，位于底层柔性衬底之上的栅电极和压力传感器电极，位于栅电极之上的有源层，位于部分栅电极、部分底层柔性衬底、传感器电极之上的敏感层，位于有源层之上的绝缘层，位于绝缘层之上的源漏电极，覆盖源漏电极和敏感层的顶层封装层，其中，敏感层的上表面不超过有源层的上表面；所述压力传感器电极连接恒定的直流电源，源电极接地，漏电极连接测试端；当向敏感层上方的顶层封装层施加压力时，会改变敏感层的电阻，使得经过敏感层流经栅电极的电流值发生改变，从而导致漏电极端测试的电流发生变化，通过测试漏电极端电流的变化即可得到传感器压力的变化。