发明名称 THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE AND METHOD OF FABRICATING THE SAME
摘要 본 발명은 공정을 단순화할 수 있음과 아울러 전기적 특성이 향상되는 박막트랜지스터 기판 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다. 본 발명에 따른 박막트랜지스터 기판의 제조 방법은 기판 상에 박막트랜지스터를 형성하는 단계와; 상기 박막트랜지스터 기판이 형성된 기판 상에 임프린팅 수지를 도포한 후 임프린트용 몰드를 이용한 임프린팅 공정을 통해 유기 보호막을 형성하는 단계와; 상기 유기 보호막이 형성된 기판 상에 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 임프린팅 수지는 비극성 관능기 단량체와, 실란계 커플링제와, 광개시제로 이루어지는 것을 특징으로 한다.한다.
申请公布号 KR101686105(B1) 申请公布日期 2016.12.14
申请号 KR20100086439 申请日期 2010.09.03
申请人 엘지디스플레이 주식회사 发明人 송나영;김진욱;김주혁;황재철
分类号 H01L29/786;G02F1/136 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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